禾一仪器
“日东精工（原三菱化学）分析科技株式会社”
电阻抗率分析仪器中国总代理
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0769-82012606
132-1536-5008
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最早在1920年代，Langmuir等人首先研究等离子体中的现象，而在1929年Langmuir使用了「等离子体（plasma）」来叙述此一离子化气体的现象。 若对物质施加高温或加速电子、加速离子等能量，中性物质会透过激发、解离、离子化等反应而产生分子（molecules）、原子（atoms）、受激态物质（excited species）、电子（electrons）、正离子（positive ion）、负离子（negative ion）、自由基（free radical）、UV光、可见光等物质，而这些物质混合在一起的状态就称之等离子体。因其不同于固、液、气三态，故等离子体常被称为物质的第四态。 |
因此，等离子体是一团正离子、电子、自由基及中性气体原子所组成会发光的气体团，如日光灯、霓虹灯发亮的状态，就是属于等离子体发亮的状态。
如何产生等离子体？
等离子体的产生主要是靠电子去撞击中性气体原子，使中性气体原子解离而产生等离子体，但中性气体原子的原子核对其外围的电子有一束缚的能量，我们称它为束缚能，而外界的电子能量必须大于此束缚能，才会有能力解离此中性气体原子。但是，此外界的电子往往是能量不足的，没有解离中性气体原子的能力，所以，我们必须用外加能量的方法给电子能量，使电子有能力解离此中性气体原子。
要外加能量给电子，最简单的方法就是用平行电极板加一直流电压，电子在电极中，会被带正电之电极所吸引而加速，在加速的过程中，电子就可以累积能量，当电子的能量达到某一程度时，就有能力来解离中性气体原子。本公司产品主要以感应耦合式等离子体（ICP, Inductively Coupling Plasma）技术为基础，感应耦合式等离子体系一高密度等离子体，等离子体密度可以高达1012 ~ 1013 /cm3，对于产品之等离子体处理具备很高之效益，不过，高密度感应耦合式等离子体之产生取决于电极的设计，因此电极的设计便成了等离子体产生之最重要课题。
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